Российский фонд фундаментальных исследований - Поиск - новости науки и техники
Поиск - новости науки и техники

Российский фонд фундаментальных исследований

Федеральное государственное бюджетное учреждение “Российский фонд фундаментальных исследований” (далее – Фонд) объявляет о проведении конкурса на лучшие научные проекты междисциплинарных фундаментальных исследований (далее – Проекты) по теме “Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем” (далее – Конкурс).
Код Конкурса – “мк”.
Код темы – 26-827.
Рубрикатор темы:
827.1. Фундаментальные проблемы повышения степени интеграции и быстродействия УБИС.
827.2. Новые методы формирования low-k диэлектриков для использования в технологиях многоуровневой металлизации интегральных схем.
827.3. Методы контроля пористой структуры, электрических и механических свойств пористых low-k диэлектриков.
827.4. Новые металлы с низким удельным сопротивлением, высокой стойкостью к электромиграции и высокоэффективные барьерные слои для новых поколений систем металлизации интегральных схем.
827.5. Новые технологические схемы изготовления многоуровневых систем металлизации с минимальными временами задержки для суб-7-нм технологий микроэлектроники.
827.6. Новые методы плазмохимического травления в технологии формирования многоуровневых систем металлизации интегральных схем. Процессы селективной поверхностной модификации пористых low-k пленок для процессов атомно-слоевого осаждения.
827.7. Оптика на кристалле для межсоединений верхнего уровня УБИС.
Срок выполнения Проекта – 3 года.
Прием заявок на участие в Конкурсе в информационной системе Фонда (КИАС РФФИ) проходит с 15 часов 00 минут 10 сентября 2018 года до 23 часов 59 минут по московскому времени 10 октября 2018 года.
Подведение итогов Конкурса – 28 декабря 2018 года.
Полная версия объявления о Конкурсе и условия Конкурса опубликованы на сайте Фонда: http://www.rfbr.ru.

Нет комментариев

Загрузка...
Новости СМИ2